세바, 초정밀 전자 유량계 개발

세바(대표 김정언 http://www.seba.co.kr)는 삼성전자와 공동으로 반도체 제조공정에 사용되는 화학약품·초순수·냉각수의 유량을 정밀하게 측정하는 「비접촉식 터빈타입 전자식 유량계(cyclone turbine type electro-flowmeter)」를 개발하고 관련기술을 특허출원했다고 5일 밝혔다.

이 기기는 고정터빈과 회전로터로 구성된 2중 특수구조로 설계돼 반도체 제조라인에서 온도변화와 순간압력 변동 등 급격한 유량변화에서도 고정밀의 유량측정이 가능하다.

비접촉식·비마찰식으로 구성된 이 제품은 또 화학약품용, 초순수용(deionized water), 솔벤트(solvent)·고온·고압용, 냉각수용 등 4개 모델로 구성, 측정용액에 적합한 유량계 재질을 선택할 수 있다.

화학약품용 유량계는 산·알칼리성 유체의 유량측정이 가능한데다 내압력·내마모성이 강하며, 초순수용 제품의 경우 재질이 견고해 분진발생이 없고 절연성이 우수하다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>