[SEDEX KOREA 2000]출품업체(앞공정 부문)-화인반도체기술

화인반도체기술(대표 장명식 http://www.fstc.co.kr)은 반도체 제조 앞공정에서 사용되는 포토마스크(photo mask) 보호용 박막필름인 펠리클(pellicle)과 자동온도조절장치인 칠러(chiller)를 선보인다.

이 회사의 주력 생산품목인 펠리클은 반도체 제조 노광공정에서 필수사용되는 포토마스크를 먼지 등 오염물질로부터 보호하는 박막으로, 현재 반도체 생산라인에서 가장 많이 사용되는 g·i 라인용 펠리클과 최근 개발한 차세대 고집적 반도체용 DUV(Deep Ultra Violet) 펠리클이 있다. 특히 이 회사는 고집적 반도체 시장을 겨냥해 불화아르곤(ArF) 엑시머 레이저용 펠리클도 개발완료했다.

이 회사는 펠리클에 대해 대만 최대의 반도체 제조업체인 UMC그룹으로부터 품질인증을 받은 데 이어 미국의 포토마스크업체인 듀폰·포트로닉스·아펙스, 일본의 토판에서 펠리클 품질인증을 진행중이거나 일부 물량을 공급하고 있다.

또한 이 회사가 올해 본격 출시한 칠러는 열전(thermo electric) 반도체 모듈을 채택, 프레온가스를 사용하지 않고 전기적 열교환 순환기를 이용해 환경 친화적이며 제품을 소형·경량화했다. 이 회사는 경기 기흥에 조만간 공장을 완공하는 대로 차세대 펠리클 및 칠러의 생산을 확대할 계획이다.