랩솔루션, 실시간 모니터링 장비 공급

반도체 관련 장비제조 벤처업체인 랩솔루션(대표 이동훈 http://www.lab-solution.com)은 반도체 공정중 발생하는 암모니아를 실시간으로 모니터링하는 장비(모델명 PAS-101C)를 개발, 공급에 나선다고 22일 밝혔다.

이 회사가 개발한 장비는 60×40㎝ 크기로 반도체 제조공정 과정에서 방해물질 가운데 하나인 암모니아와 아민(amine)류 등의 기체를 액체로 전환시켜 자동분석해주며 1분 안에 검출이 가능하다.

이 장비는 검출 포인트를 24개까지 설정할 수 있고 5ppt의 극미량까지 검출이 가능하며 누구나 쉽게 조작할 수 있도록 자동화해 유지보수 비용에 투입되는 인력과 비용을 최소화했다.

이동훈 사장은 『이번 국산장비는 기존 수입 외산장비에 비해 성능이 비슷하고 가격이 절반정도로 저렴해 경쟁력을 갖추고 있다』며 『국내 반도체 관련 제조업체들을 대상으로 본격 공급할 계획』이라고 말했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>