태크뱅크, 차세대 MEMS 소자용 식각 및 진공장치 개발

반도체 제조용 장비 제조업체인 태크뱅크(대표 오명환)가 차세대 마이크로전자기계시스템(MEMS) 소자 제조용 식각장치(에처) 및 진공장치를 개발, 공급에 나선다고 1일 밝혔다.

이 회사는 자체 개발한 MEMS 소자용 식각장치(모델명 SSXES)와 진공장치(VCMC)를 서울대 반도체공동연구소에 구축했으며 국내 및 미국 반도체 제조업체들을 대상으로 공급을 추진중이다.

이번에 개발한 식각장치는 제논다이플루오라이드(XeF₂)를 이용한 식각공정 장치로 가스 화학반응을 이용하기 때문에 아이소트로픽(isotropic) 에칭이 가능하며 스티킹(sticking) 현상을 방지해준다.

또한 진공장치는 MEMS 소자의 전자회로특성을 측정하기 위한 특수 체임버(chamber)로 진공펌프 없이도 체임버 내부 진공도를 30분 가량 유지시킬 수 있는 것이 특징이다.

오명환 사장은 『수년 동안 MEMS 분야 연구에 주력한 결과 현재 이 분야 핵심기술을 확보, 미국 및 국내에 특허출원했다』며 『이 기술을 바탕으로 MEMS 소자 제조공정용 장비들을 국산화해 국내외 시장을 선점할 계획』이라고 말했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>