로체시스템즈, LCD·웨이퍼 반송시스템 개발, 공급 활기

로체시스템즈(대표 김영민 http://www.rorze.co.kr)는 액정표시장치(LCD)·웨이퍼(wafer)를 이동시키는 반송시스템의 공급이 활기를 띠고 있어 올해말까지 이 분야에서 120억원의 매출을 올릴 계획이라고 21일 밝혔다.

김영민 사장은 『올들어 국내 LCD 생산업체에 대한 LCD 반송시스템 공급이 크게 늘어 이달까지 약 100억원의 공급 실적을 달성했다』고 말했다.

아울러 이 회사는 최근 차세대 300㎜ 크기의 웨이퍼 반송시스템도 개발하고 국내 반도체업체를 대상으로 공급을 추진중이다.

이번에 개발한 300㎜ 웨이퍼용 반송시스템(모델명 RACS 300)은 이중 팔 로봇과 FOUP 오프너(opener) 및 얼라이너(aligner) 등으로 구성돼 있으며 불순물의 발생을 막기 위한 웨이퍼 클램프(clamp) 기구 등을 채택해 청정도를 유지해 준다.

한편 김 사장은 『이달말 안으로 증자를 실시해 기술·자본합작선인 일본 로체사의 투자지분비율을 기존 90%에서 70%로 낮추고 올해말까지 로체사 지분을 49%로 낮출 예정』이라고 말했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>