성원에드워드, 반도체용 화학약품·CMP슬러리 공급장치 사업 본격화

반도체 제조공정용 진공펌프 전문업체인 성원에드워드(대표 김중조 http://www.bocedwards.com)가 화학약품중앙공급장치(CCSS:Central Chemical Supply System), 화학기계적연마(CMP) 공정용 슬러리 공급장치 등의 생산에 나선다.

이 회사는 CCSS, CMP슬러리 공급장치를 판매하는 BOC CM코리아를 오는 11월까지 흡수합병하고 관련장비의 생산에 착수할 예정이라고 20일 밝혔다.

이 회사는 해외 제휴선인 영국 BOC사 및 미국 FSI사로부터 핵심부품을 구입, 현재 증축중인 충남 천안 2공단 소재 자체 공장에서 관련장치들을 조립, 생산할 계획이다.

아울러 BOC CM코리아의 합병이 마무리되는 대로 이를 자사의 케미컬매니지먼트팀으로 흡수키로 했다.

이 회사의 관계자는 『이르면 올 연말이나 내년 초에 관련장치의 시제품을 내놓을 예정』이라며 『국내 반도체·LCD제조업체는 물론 아시아지역 반도체 업체들을 대상으로 수출할 계획』이라고 말했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>