반도체 제조용 후공정장비 제조업체인 트라이맥스(대표 한효용 http://www.trimecs.co.kr)는 수퍼테이프볼그리드어레이(STBGA)용 원재료인 프레임(frame)을 장비 한대에서 생산할 수 있는 라미네이션(lamination) 시스템을 개발했다고 13일 밝혔다.
이번에 개발된 장비는 반도체 소자의 열을 방출하는 방열 프레임 및 필름 재질의 회로소자를 지탱해주는 주프레임, 솔더볼이 올려질 회로 필름 등으로 이뤄진 STBGA용 프레임의 7단계 제조공정을 한대의 장비에서 자동생산할 수 있는 인라인(in-line)시스템이다.
또한 회로 필름의 경우 기존에는 접착조건만 갖춘 상태로 공급돼 프레임에 접착됐으나, 이번 장비는 회로 필름의 회로구성을 제외한 모든 공정을 하나의 장비에서 처리해 각기 다른 특성을 원하는 고객의 요구를 만족시킬 수 있다. 아울러 소자나 패키지 종류가 바뀌어 프레임 규격이 달라도 호환생산이 가능하게 설계됐다.
이 회사는 이번 시스템을 국내 부품 제조업체에 납품하는 한편, 수출에도 나설 계획이다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>
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