NEC, 회로전자파 계측 초소형 침

일본 NEC와 자회사인 NEC진공초자가 회로의 전자파를 직접 계측할 수 있는 초소형 침(프로브)을 공동개발, 상품화했다고 「일경산업신문」이 보도했다.

NEC와 NEC진공초자가 이번에 내놓은 프로브 「CP-2S·사진」는 독자개발한 유리세라믹 다층기판을 사용해 한계 검출부의 크기를 폭 2㎜와 두께 1㎜로 종래의 6분의 1로 줄여 대규모집적회로(LSI)나 인쇄회로기판(PCB)의 배선에서 나오는 전자파의 강약을 직접 측정할 수 있다.

한계 계측의 정확도를 표시하는 공간분해력도 종래의 4배인 약 0.25㎜(배선폭으로 0.06㎜)로 개선됐고, 대응하는 주파수대도 최고 3㎓로 종래의 3배에 이른다. 가격은 기본으로 대당 19만엔이며 연간 1000대 판매를 목표로 잡고 있다.

두 회사는 지난해 1월 유리에폭시 기판을 사용한 고성능 프로브 「MP-10L」을 내놓았는데, 패키지화한 LSI회로 계측할 경우는 신호단자 부근 등의 좁은 공간에 삽입할 수 없어 측정이 불가능하다.

<신기성기자 ksshin@etnews.co.kr>