클린룸용 FFU시장, 절전형 BLDC 모터채용 급증

반도체·박막트랜지스터액정표시장치(TFT LCD)생산라인의 공기정화용 팬필터유닛(FFU)시장이 전력소모가 심한 AC모터 대신 BL(Blushless)DC모터를 채택한 절전형제품으로 세대교체될 전망이다.

FFU는 먼지에 극도로 민감한 반도체 생산라인의 공기여과를 위해 클린룸 천장에 설치되는 장비로 신성ENG·엘림 등 관련 전문업체들은 FFU의 전력소비량 절감과 제어기능 향상을 위해 BLDC모터를 장착한 신제품 출시를 서두르고 있다.

BLDC모터를 적용한 FFU는 소비전력이 30% 이상 줄어들고 클린룸 내의 먼지밀도에 따라 모터속도를 자유롭게 조절할 수 있어 반도체업체들이 BLDC방식의 FFU를 대거 채택하는 추세다.

국내 FFU시장의 80%를 점유해 온 신성ENG(대표 이완근)는 최근 유유의 BLDC모터를 채택한 FFU를 개발하고 삼성전자에 1000여대를 공급한 데 이어 생산라인을 증설중인 LG필립스LCD에 공급을 추진하고 있다.

센추리EC(대표 이성주 http://www.centrec.co.kr)는 독일 EBM사의 BLDC모터를 채용한 신형FFU 양산채비를 서두르고 있으며 엘림(대표 전송배)도 내년초 해외안전규격을 받는대로 BLDC방식 FFU을 시중에 선보일 계획이다.

<배일한기자 bailh@etnews.co.kr>