한택, 반도체장비 개발·공급 활기

수입판매업체인 한택(대표 한종훈 http://www.hantech.co.kr)이 반도체 제조용 장비의 개발·공급에 적극 나섰다.

이 회사는 ASML의 스테퍼에 부착돼 렌즈와 장치의 온도를 일정하게 유지(섭씨 22도)시키는 자동온도조절장치(칠러)를 개발, ASML에서 장비의 성능평가를 실시중이라고 6일 밝혔다.

이 회사가 개발한 칠러는 각각 2개의 펌프와 전기모듈 유닛을 내장해 하나의 펌프가 고장이 나더라도 나머지 펌프를 이용함으로써 리소그래피 공정에 전혀 지장을 주지 않는 것이 특징이다.

한종훈 사장은 『반도체의 리소그래피 공정에서 칠러에 에러가 발생할 경우, 렌즈의 각도가 틀어지고 공정작업이 10시간 이상 중단돼 막대한 피해를 초래하게 된다』며 『ASML에서 이번 제품의 성능평가가 성공적으로 끝나면 올해 말부터 ASML에 독점 납품할 수 있을 것』이라고 말했다.

아울러 이 회사는 웨이퍼를 카세트로 자동 이송·정렬시키는 장치인 웨이퍼이송장치(wafer sorter)를 개발해 국내 반도체 소자업체에 지금까지 50대 가량을 공급한 데 이어, 최근 차세대 300㎜ 웨이퍼용 소터 시제품도 개발했다.

이 회사는 또 자체 개발한 마이크로 볼그리드어레이(BGA) 필름, 리드프레임, TAB IC 등을 검사하는 장치를 국내 반도체 패키지·부품 관련업체들을 대상으로 올들어 5대 이상 납품했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>