반도체 제조용 장비제조업체인 스피드엔지니어링(대표 유재식)이 반도체 제조공정에 사용되는 자동온도조절장치인 칠러(chiller)와 열교환장치(heat-exchanger) 등을 개발, 공급한다고 3일 밝혔다.
이 회사는 최근 삼성전자에 열교환장치(모델명 SPEED 800)를 10대 가량 공급하는 한편, 현대전자와 아남반도체 등에 식각(에칭) 및 화학기상증착(CVD) 공정에 들어가는 칠러(모델명 SPEED3000·3600)를 소량 납품했다.
아울러 이 회사는 레이저 관련 장비와 자동차 전장품 제조업체에도 단일채널방식의 칠러(모델명 SPEED400)를 공급하고 있다고 덧붙였다.
이 회사는 이를 통해 상반기에 10억원의 공급실적을 올렸으며, 연말까지 24억원의 매출을 올릴 계획이다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>
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