셀라이트, 웨이퍼에지 검사 기술특허 취득

반도체 검사장치 전문업체인 셀라이트(대표 홍성균 http://www.selight.co.kr)는 웨이퍼 에지(wafer edge) 검사기술에 대한 특허를 취득했다고 30일 밝혔다.

이 회사가 취득한 특허는 웨이퍼 테두리에 생긴 결함을 기존에 육안으로 하던 방법과 달리 웨이퍼를 자동으로 회전 또는 직선 이동시키면서 라인스캐닝 카메라로 스캐닝해 얻어지는 이미지 신호를 처리, 테두리 결함을 검사하는 장치 및 검사방법이다.

이 회사는 이 기술을 적용한 검사장치(모델명 EDGE-2000)를 개발했으며 공정상의 문제발생을 인라인(in-line) 모니터로 사전에 방지해 주요 공정장치의 오작동을 줄이고 반도체 수율을 높일 수 있다고 밝혔다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>