카엘, 반도체 제조 공정가스 제거용 필터 공급

카엘(대표 이후근 http://www.kael.co.kr)이 반도체 공정에서 발생하는 유해가스를 완벽하게 제거하는 필터를 개발하고 현대전자와 삼성전자에 공급하기로 했다고 23일 밝혔다.

이 회사는 최근 자체 개발한 필터를 현대전자에 월 수백개 규모로 공급한 데 이어 삼성전자에 500개 가량을 첫 납품했다.

이 회사가 공급하는 필터는 반도체의 포토리소그래피(photolithography) 공정 중 설비로 유입되는 암모니아 가스를 첨착활성탄을 이용, 흡착해 걸러냄으로써 반도체 생산수율을 향상시킬 수 있는 소재로 가스 제거율은 99.99%에 달한다. 그동안 국내시장에서는 미국의 도날슨·이에스아이, 일본 곤도다코마·에바라 등이 독점 공급해왔다.

이 회사의 한 관계자는 『이번에 국산화한 제품은 외산에 비해 성능은 우수한 대신 비용은 50% 수준에 불과할 정도로 가격경쟁력을 충분히 갖추고 있다』고 말했다.

아울러 이 회사는 삼성전자와 공동으로 오존 제거를 위한 필터를 개발하고, 대전 4공장의 자체 공장에 월 1000개 규모의 양산체제를 갖췄다.

특히 카엘은 이 기술을 응용해 반도체 공정 유해가스 세정장치인 스크러버(scrubber)의 시제품도 개발, 상용화를 위한 테스트를 진행하는 등 장치사업에도 본격 진출할 계획이다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>