에이에스티, 반도체 장비사업 진출

에이에스티(대표 박경호)가 반도체 제조공정에 사용되는 화학약품관련 공급장치들을 잇따라 개발하고 이 시장에 본격적으로 뛰어들었다.

지난달 법인등록을 마친 에이에스티는 반도체의 화학기계적연마(CMP)공정에 필수 사용되는 화학약품인 슬러리 공급장치 및 중앙케미컬공급시스템(CCSS)을 자체개발하고 관련기술을 특허출원했다고 19일 밝혔다.

이 회사가 특허를 출원한 CMP공정용 슬러리 공급장치는 슬러리의 압력과 유량의 변화를 일정하게 유지해 정체구간을 없앰으로써 CMP장치에 안정적으로 공급하도록 개선한 것이 특징이다. 특히 이 회사는 CMP공정 후 발생하는 폐수와 폐슬러리의 처리 및 재사용 장치도 개발을 완료했다.

박경호 사장은 『다음달까지 분당 야탑동 테크노파크에 생산설비를 갖추고 본격 생산에 들어갈 예정』이라며 『그동안 국내 CMP 슬러리 공급장치 시장의 90%를 공급·관리해 온 경험을 바탕으로 시장점유율을 높여나갈 계획』이라고 말했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>