아이세미콘, 반도체 제조공정 결함분석 신기술 개발

반도체 제조공정에서 발생하는 결함을 분석해주는 기술이 국내 벤처기업에 의해 처음으로 개발됐다.

대덕연구단지 대전소프트웨어지원센터 입주 벤처기업인 아이세미콘(대표 이재근 http://www.isemicon.com)은 반도체 제조공정에서 이물질인 먼지 등에 의해 발생하는 결함의 원인분석을 통해 불량제품의 수와 제품손실 위험도 등을 측정할 수 있는 결함분석 소프트웨어인 「디펙터Ⅱ」를 개발, 실용화에 성공했다고 17일 밝혔다.

이 기술은 현재 가장 널리 쓰이고 있는 미국 KLA사의 결함분석 소프트웨어보다 한 단계 앞선 기술로 기존 제조공정에서 발생하는 결함의 수를 측정하는 것은 물론 불가능한 기술로 여겨져 왔던 손실제품 수의 절대값과 제품의 최대 손실 잠재량 등을 분석할 수 있는 신기술이다.

이에 따라 이 소프트웨어를 이용하면 반도체 제조공정에서 발생하는 불량제품 수를 정확하게 알 수 있고 치명적인 장비, 공정구간 등의 파악이 가능해 결함에 의한 제품 손실비용 및 결함관리 비용 등을 크게 줄일 것으로 기대된다.

아이세미콘은 현재 국내 반도체 제조업체와 계약을 맺고 제품생산에 들어갔으며 또다른 업체와도 계약을 추진중이다.

이재근 사장은 『반도체 제조라인 하나당 결함에 의한 연간 손실비용이 500억원으로 추산된다』며 『반도체 제조과정에서 20%인 100억원 정도의 손실비용을 절감할 수 있을 것』이라고 말했다.

한편 이 기술은 지난해 10월 정보통신부가 주최한 제1회 벤처창업경진대회에서 입상했으며 국내에 특허출원했고 미국·일본 등 세계 9개국에 특허출원중이다.

<대전=박희범기자 hbpark@etnews.co.kr>