동우화인켐, KrF용 포토레지스트 공급 본격화

화학재료 생산업체인 동우화인켐(대표 한의섭 http://www.dwchem.co.kr)이 반도체 노광공정에서 사용하는 불화크립톤(KrF) 광원용 포토레지스트(photoresist)를 개발하고 양산에 들어간다.

지금까지 i라인(365㎚ 파장급)용 포토레지스트를 주력 공급해온 동우화인켐은 지난해 모회사인 일본 스미토모와 공동으로 개발한 KrF(248㎚ 파장급)용 포토레지스트에 대한 공정 적합성 테스트를 국내 반도체 제조업체들에서 마치고 월 200갤론 규모를 생산·공급하고 있다고 12일 밝혔다.

이 회사의 관계자는 『국내 한 반도체 소자업체에는 연구용으로 포토레지스트를 공급해왔으나 곧 양산라인에 적용할 것으로 보여 연말에는 공급규모가 월 최고 800∼1000갤론까지 늘어날 것』이라고 말했다.

동우화인켐은 올해 국내 KrF용 포토레지스트시장에서 30%의 점유율을 확보하는 한편, 기존 i라인용 제품부문에서는 100억원의 매출을 올릴 계획이다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>