태화일렉트론(대표 신원호)이 외국업체와 기술제휴를 맺고 반도체장비 생산에 뛰어들었다.
이 회사는 이달 초 일본의 클린테크놀로지와 제휴, 자외선(UV) 클리너, 적외선(IR) 히터 유닛, 핫플레이트, 쿨플레이트 등의 공동생산에 나서기로 했다고 11일 밝혔다.
이에 따라 태화일렉트론은 설계기술 및 메인 유닛을 일본업체로부터 들여오고 로봇·로더(loader)·언로더(unloader) 등을 자체 제조해 조립, 생산할 계획이다.
아울러 이 회사는 일본 메이와공업과도 기술제휴, 올하반기부터 유기용기(EP Tank)를 생산할 예정이다.
태화일렉트론은 이를 위해 이달중으로 경기도 광주군 오포면에 1차로 건물 350평 규모(클린룸 115평)의 반도체·액정표시장치(LCD)장비 생산공장을 완공해 가동에 들어가는 한편, 올해 말까지 2차로 500평 규모의 생산라인을 증축할 계획이다.
이 회사는 반도체 및 LCD 제조공정에서 사용하는 케미컬 중앙공급시스템(CCSS)을 비롯, 클리닝 공정장치인 웨트스테이션 등의 자체 개발에 들어가 올하반기중으로 시제품을 내놓을 예정이다.
이 회사의 신원호 사장은 『그동안 반도체와 LCD 관련 장비·재료를 공급하면서 쌓은 노하우와 기술력을 바탕으로 수입에 의존해온 핫·쿨플레이트 등을 생산할 계획』이라며 『국내 소자업체들과 제품의 생산·공급에 대해 구체적으로 협상을 벌여왔기 때문에 공급전망도 밝다』고 말했다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>
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