한택, 스테퍼용 온도조절 모듈 개발 박차

반도체 제조공정용 장비공급업체인 한택(대표 한종훈 http://www.hantech.co.kr)이 반도체 제조 핵심공정장비인 스테퍼에 들어가는 핵심 모듈을 개발했다.

한택은 반도체 제조장비 가운데 가장 고가이고 핵심장비인 스테퍼안의 온도를 안정화하는 모듈 시제품을 개발, ASML에서 장비 적합성 여부를 평가중이라고 21일 밝혔다.

한종훈 사장은 『그동안 ASML 스테퍼 등을 국내에 판매하고 기술지원서비스를 하면서 축적한 기술력을 토대로 핵심 모듈 개발에 나서게 됐다』면서 『모듈의 성능평가를 성공적으로 마치면 올해 말부터 ASML에 본격 납품할 수 있을 것』이라고 말했다.

한택이 ASML에 납품할 모듈의 공급 규모는 ASML의 전세계 스테퍼 시장점유율에 비춰 볼 때 연간 300대 이상에 달할 전망이다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>