반도체 제조용 엑시머레이저 국산화

그동안 전량 수입에 의존하던 반도체 제조용 엑시머레이저를 신생 벤처기업이 국산화했다.

지난해 8월 설립된 레이저앤피직스(대표 한기관)는 총 2억5000만원의 연구비를 투입해 크립톤과 불소 가스를 사용하는 엑시머레이저를 개발, 최근 현대전자에 시제품을 납품했다고 2일 밝혔다.

반도체 제작의 핵심장비인 엑시머레이저의 오류는 생산에 큰 손실을 초래하기 때문에 개발의 필요성을 알면서도 대기업조차 섣불리 개발에 착수하지 못했다.

특히 엑시머레이저에 사용하는 가스는 부식성이 강한 불소이고 발생하는 빛도 자외선이기 때문에 산업용으로 사용할 수 있을 만큼 안정적으로 작동하는 레이저를 만든다는 것은 매우 어려운 일로 지금까지 국내에서는 대학이나 연구소에서 실험용으로 만들어본 것이 고작이었는데 이번에 상용제품 개발에 성공한 것이다.

한기관 대표는 『현대전자 청주공장 장비기술팀이 자사가 개발한 엑시머레이저를 노광공정에 장착한 후 테스트 결과를 알려줘 레이저의 성능 개선을 도왔다』며 『앞으로 기술적으로 미진한 부분을 향상시킬 것』이라고 밝혔다.

<김원배기자 adolfkim@etnews.co.kr>