<인터뷰>리처드 오렐리오 미국 배리안 사장

『해외에서 반도체장비를 생산하는 것은 이번 한국이 처음입니다. 한국은 고급 인력과 우수한 제조 인프라를 갖고 있어 첨단 반도체장비를 생산하기에 충분하다고 봅니다. 이를 계기로 한국의 반도체 제조업체들에 더욱 신속한 제품공급 및 기술지원서비스를 제공하겠습니다.』

릭 오렐리오 미국 배리안(Varian) 사장(55)은 지난 6일 경기도 송탄의 한국배리안에서 열린 「이온 주입기(Ion Implanter) 한국생산 기념식」에 참석해 이같이 밝히고 『총 매출의 60%를 차지하는 아시아 지역에 대한 진출을 강화하기 위해 한국을 생산 및 수출 거점으로 적극 키울 계획』이라고 말했다.

반도체장비업계에서만 15년동안 근무한 오렐리오 사장은 『한국의 반도체장비 제조업체들과 공동으로 장비 판매·마케팅·서비스를 위한 제휴선을 물색중』이라고 말했다.

그는 배리안으로서는 사업품목을 늘릴 수 있고, 한국업체들은 배리안의 글로벌 네트워크를 이용해 해외에 진출할 수 있는 이점이 있다고 설명했다.

배리안은 전세계 이온주입기시장의 40% 이상을 점유한 부동의 1위 업체다. 미국 VLSI리서치가 세계 주요 반도체장비업체를 대상으로 실시한 고객만족도 설문 조사에서는 전공정장비 부문 업체 중 지난 97년부터 3년 연속 1위를 차지했다.

오렐리오 사장은 차세대 300㎜ 장비 전략과 관련 『배리안이 처음 도입한 싱글 웨이퍼 타입은 웨이퍼 핸들링만 바꿈으로써 한대의 장비에서 200㎜와 300㎜ 웨이퍼 제조공정이 가능하며 수율도 높다』라면서 『2년 전부터 관련장비를 한국 및 전세계 소자업체에 납품해 사용중』이라고 말했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>