주성엔지니어링, 구리 증착 반도체 장비 日에 수출

주성엔지니어링(대표 황철주 http://www.jseng.com)은 반도체 앞 공정의 핵심장비인 화학기상증착(CVD)장비를 일본의 한 반도체소자 제조업체에 수출했다고 5일 밝혔다.

이 회사가 이번에 수출한 장비는 실리콘 기판 위에 구리막을 입히는 정밀증착장비로 대당 가격이 30억∼40억원에 이르는 첨단 반도체장비다.

구리 CVD장치는 기존 도금공정으로는 구현하기 어려운 0.1㎛ 이하의 미세배선을 처리할 수 있어 향후 대규모 시장을 형성할 것으로 예상된다.

주성엔지니어링은 자사 장비를 수입하는 일본업체와 공급대수를 구체적으로 밝히지 않았다.

주성측은 지난해 12월 질화막증착장치(모델명 ExMA CVD)를 일본에 첫 수출한 데 이어 이번에 장비를 공급함으로써 일본시장 공략에 박차를 가할 수 있을 것으로 기대했다.

이와 관련, 이 회사는 지난달말 일본 오사카 및 도쿄에서 히타치·NEC·미쓰비시 등 일본 주요 소자업체 관계자들을 초청해 기술세미나를 개최했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>