케이씨텍, 독일 SMT와 반도체장비 생산 합작사 설립

반도체장비 제조업체인 케이씨텍(대표 고석태 http://www.kctech.co.kr)이 독일의 대표적인 반도체 세정공정(Wet processing)업체인 슈테야그마이크로텍(SMT : STEAG Microtech GmbH)과 손잡고 국내에서 반도체장비의 생산·판매에 나선다.

케이씨텍은 8일 SMT와 한국에서 SMT의 「싱글 배스 DTT(single bath Double Tank Tool)」 등 차세대 반도체 세정공정장비의 공동 생산·설치·기술서비스에 나서기로 합의하고, 이를 전담할 합작사 설립을 위한 의향서를 교환했다.

이번에 설립할 합작사의 자본금 규모는 500만달러 정도이며 SMT가 51%, 케이씨텍이 49%를 각각 투자하게 된다.

합작사는 첫 단계로 SMT의 200㎜ 싱글 배스 DTT를 4월중 완공될 경기도 안성공단 케이씨텍의 제2공장에서 본격 조립, 생산에 나서 국내시장에 주로 공급하고, 앞으로 해외에도 수출할 예정이다.

합작사가 생산할 웨트스테이션(Wet Station)은 웨이퍼(wafer)를 클리닝하거나 불필요한 산화물 필름을 제거하는 장비로 기존의 멀티배스(Multi Bath) 방식 대신 싱글배스를 채택, 배스 하나로 모든 공정을 소화할 수 있다. 이에 따라 소량의 약액으로도 높은 효율을 낼 수 있어 반도체 생산비용을 절감하게 됨은 물론, 공정의 단순화와 장비의 소형화 효과를 가져올 수 있다.

이를 위해 SMT는 연구개발·공정관리·설계 부문을, 케이씨텍은 웨트(Wet)장비의 생산·구매·설치·서비스를 맡기로 했다.

고석태 사장은 『SMT와의 제휴로 반도체 웨트프로세싱장비 분야의 선진기술을 도입함으로써 차세대 웨트스테이션의 기술우위와 국산화를 통한 국내시장 점유율 확대와 유럽시장 진출의 교두보를 마련하게 됐다』고 말했다.

<온기홍기자 khohn @etnews.co.kr>