반도체 장비 합작사 "콧노래"

　한·미·일 반도체 장비·재료 분야 업체들이 합자해 국내 설립한 업체들이 사업에 호조를 보이고 있다.

　특히 이들 합작사들은 독자적으로 개발·영업 부문에서 국내에 확고하게 기반을 다짐으로써, 성공적인 합작 케이스로 평가받고 있다.

　경기도 안성 제2공단에 있는 한국에이디씨에스·한국도카이카본·한국파이오닉스·한국고요써모시스템 등이 그 주인공들.

　이들 업체는 모두 반도체장비업체인 케이씨텍(대표 고석태)이 95∼96년 미국이나 일본의 반도체 관련 전문업체와 공동 출자해 설립한 기업들이다.

　이들 가운데 가장 먼저 95년 7월 케이씨텍과 일본 파이오닉스가 각각 50 대 50으로 지분을 출자해 설립한 한국파이오닉스는 가스퓨리파이어(Gas Purifier)와 드라이스크러버(Dry Scrubber)를 생산하는 업체. 이 회사는 특히 최근 번(Burn)스크러버와 포토리소그래피(Photolithography)공정에 사용되는 F2 트랩(Trap)도 자체 개발, 반도체 생산원가를 절감하는 성과를 올렸다. 또한 그동안 전량 수입에 의존해온 액제(Agent)들도 국산화했으며, 올해 100억원의 매출을 올릴 계획이다.

　96년 8월 일본의 도카이카본이 국내 케이씨텍·승림카본금속과 자본 합작해 설립한 반도체 제조용 고순도 카본 공급업체인 한국도카이카본은 올해 LG실트론과 포스코휼스에 공급물량이 늘면서 최근 공장을 풀가동하고 있다. 따라서 이 회사는 올해 매출이 지난해 대비 약 100% 증가한 100억원에 달할 것으로 예상하고 있으며, 올해중 코스닥 등록도 추진할 계획이다.

　일본 KTSK가 케이씨텍과 96년 4월 공동 출자해 세운 한국고요써모시스템은 최근 반도체용 버티컬퍼니스(Vertical Furnace)의 국산화에 나선 가운데, 컨트롤러·소프트웨어·하드웨어를 모두 자체 개발하고 조만간 반도체업체에 시험 적용할 예정이다. 올해 매출목표는 60억원 규모.

　이와 함께 95년 미국 에이디씨에스와 케이씨텍이 자본 합작해 설립한 한국에이디씨에스도 케미컬의 초극세 불순물을 측정할 수 있는 분석장비를 갖추고 반도체용 고순도 케미컬인 TEOS의 개발·생산에 박차를 가하고 있다. 이 회사는 올해 케미컬 공급량이 증가하면서 60억원의 매출을 올릴 것으로 내다보고 있다.

　케이씨텍의 선우국일 이사는 『합작사들이 해외 선진 장비기술을 습득해 이를 기반으로 자체적으로 장비 국산화에 주력, 국내 반도체 장비·재료 기술수준을 한단계 높이는 데도 기여함으로써 기대 이상의 합작 효과를 내고 있다』고 말했다.

온기홍기자 khohn @etnews.co.kr