<화요특집-KOSE 99> 주요업체 출품작.. 화인반도체기술 "펠리클"

　화인반도체기술(대표 장명식)이 내놓은 제품은 펠리클(Pellicle). 소모성 재료인 이 제품은 노광공정에서 필수적으로 사용되는 포토마스크를 먼지 등 반도체 성능을 떨어뜨리는 물질로부터 보호하는 박막으로 g&i라인, 딥UV 및 LCD 펠리클로 나뉜다.

　현재 광범위하게 사용되는 것은 g&i라인 펠리클이지만 메모리가가 고집적화하면서 딥UV(불화크롬) 펠리클이 이를 급속도로 대체하는 상황이다.

　화인반도체기술은 이 딥UV 펠리클을 주력제품으로 생산하고 있으며 그 다음 세대인 불화아르곤(ArF) 엑시머 레이저용 펠리클도 개발을 완료했다. 반도체 제조업체들로부터 성능을 인정받았으며 일부 모델은 테스트를 거치고 있다. 불화아르곤 펠리클은 2001년부터 반도체 양산라인에 본격적으로 공급될 예정이다.

　화인반도체기술이 선보이는 또 하나의 장비는 열전기(Thermo Electric) 칠러로 지난해말에 개발을 마쳤다. 이 장비는 열전 반도체 모듈을 사용해 개발한 제품으로 기존의 압축방식의 칠러를 대체할 제품이다. 또한 프레온가스를 사용하지 않고 전기적 열교환 순환기를 이용하는 환경친화제품으로 구성요소들이 소형화·경량화했다.