<화요특집-KOSE 99> 주요업체 출품작.. 동진쎄미켐 "감광제"

　동진쎄미켐(대표 이부섭)은 반도체와 액정표시장치(LCD)의 제조공정에 사용되는 각종 화학재료를 제조·공급하는 업체다.

　이번 전시회에는 감광제·박리액·세정액 등을 선보였다. 특히 256메가 및 1기가 D램 등 미세회로선폭 성형에 사용하는 불화크롬·불화아르곤 감광제는 최근 개발된 신제품이다.

　이와 함께 감광제의 패턴형성시 빛의 간섭효과를 배제하는 반사방지제, 차세대 LCD에 사용되는 초고투과형 감광제 역시 차세대 화학물질로 각광받고 있다.

　동진쎄미켐이 공급하고 있는 이들 화학재료는 반도체 제조업체들로부터 품질을 인정받고 있다.

　포토레지스트로 불리는 감광제는 특정한 파장의 빛에 반응해 화학적변화를 일으킨 후 특정선폭을 전사할 수 있도록 하는 고분자화합물로, 반도체 회로소자 공정 가운데 리소그래피에 사용되는 핵심재료다. 특정선폭을 미세하게 형성, 고집적화를 가능케 하는 게 동진쎄미켐 감광제의 장점이다. 포지티브·네거티브·TFT LCD 타입이 있다. 박리액은 스트리퍼로 불리는 물질로 불필요해진 포토레지스트를 최종적으로 제거하는 데 사용되는 용제 조성물이며, 세척액 역시 같은 기능을 제공한다.

　웨이퍼 주변의 구형물질을 제거하는 EBR시너는 인체에 유해하지 않은 환경친화형 제품이며 Deep UV(KrF) 포토레지스트는 248㎚ 파장을 방출하는 광원을 사용하는 물질로, 미세회로 형성에 사용이 가능하다.