도쿄엘렉트론코리아, 300㎜ 웨이퍼용 프로버 발표

　도쿄엘렉트론코리아(대표 곽태균)가 30일 300㎜ 웨이퍼용 프로버를 발표했다.

　모델명이 「P­12XL」인 이 장비는 전공정에 사용할 수 있는 웨이퍼 검사장비로, 앞으로 200㎜ 웨이퍼의 뒤를 이을 300㎜ 웨이퍼의 상태와 특성을 테스트할 수 있는 제품이다. 도쿄엘렉트론은 이 장비를 2000년 1월부터 판매할 계획이다.

　이 장비는 테스트를 위해 반도체 소자와 프로브카드의 상태를 점검하는 얼라인먼트 과정과 테스트를 위해 다핀메모리·비메모리를 프로브카드에 접촉하는 과정을 하나의 공간에서 할 수 있도록 설계된 것이 특징이다.

　이와 함께 온도변동에 민감하게 반응하도록 고정밀도검사와 프로브와 프로브마크의 검사기능을 탑재했다. 대형 프로브카드를 쉽게 교환할 수 있는 반자동 프로브카드 교환기를 내장한 것도 장점이다.

이일주기자 forextra@etnews.co.kr