반도체 환경오염 방지기술 개발 정부 차원 대책 급하다

　반도체 제조공정에 사용하는 유독가스와 화합물, 재료 등의 사용을 줄이거나 이를 환경친화적인 물질로 대체하기 위한 업체들의 노력은 가시화되는 반면 정작 범국가차원에서는 아직까지 이에 대해 이렇다할 지원책을 마련하지 못하는 것으로 지적됐다.

　이는 미국·일본·대만 등이 환경친화적인 반도체 제조환경 마련을 위해 국가단위의 프로젝트를 실시하는 것과는 동떨어진 것으로, 앞으로 국내 반도체산업의 경쟁력을 약화시키는 요인으로 작용할 것이라는 분석이다.

　23일 관련업계에 따르면 국내 반도체 장비·재료업체들은 유독가스·화합물·납 등 환경유해 물질을 사용하지 않고도 반도체를 제조할 수 있는 각종 장비·재료 개발에 적극 나섰다.

　반면 이를 주도하고 이끌어야 할 정부는 반도체 환경오염 방지에 대한 종합적이고 구체적인 대책을 발표하지 못하고 있다.

　특히 전세계적으로 95년을 기준으로 2010년까지 사용량을 10% 줄여야 하는 과불화화합물(PFC)이나 산성계 화합물, 휘발성 유기화합물 등을 재사용·대체·분해하는 기술을 개발하는 방안을 지난 5월 한국반도체산업협회·한국생산기술연구원이 제출했음에도 불구하고 아직까지 지원책이 마련되지 않는 실정이다.

　업계 관계자들은 『반도체 오염방지기술과 재료 개발은 업계차원에서 진행할 수 있는 사업이 아니다』라며 『미국·일본·대만 등과 같이 정부 주도아래 업체들이 참여하는 공동개발 형식을 취해야 한다』고 강조했다.

　실제로 일본의 경우 정부차원에서 올해 300여억원을 투입, 유해물질을 줄이는 데 총력을 기울이고 있으며 미국·대만 역시 수백억달러 이상 자금을 투입하거나 연구기관을 통해 PFC와 반도체 환경 대응기술을 개발중인 것으로 알려졌다.

　업계 관계자들은 이에 대한 대책이 시급히 마련되지 않을 경우 환경친화를 강조하는 해외업체들에 비해 국내업체들의 경쟁력이 현저히 떨어질 수 있으며 기후변화협약 등 각종 국제협약에 의해 반도체의 수출길이 막힐 것이라고 경고하고 있다.

이일주기자 forextra@etnews.co.kr