정전방류로 인한 피해 막아줄 전문 서비스업체 설립 추진

　미국 이온 시스템사는 듀폰 포토마스크사(DPI)와 제휴해 반도체 제조업체들이 정전방류(ESD) 현상으로 인해 포토마스크 레티큘(망선)에 생기는 피해를 방지해주기 위한 서비스 전문업체를 설립키로 했다고 최근 밝혔다.

　두 회사는 이를 위해 ESD 탐지 및 평가 기능을 강화한 새로운 ESD 모니터링 툴인 「캐너리(Cannery)」와 EDS 분석 및 모니터링 서비스를 반도체 제조업체에 제공할 예정이다.

　이온 시스템의 아널드 스타인만 최고기술관리자(CTO)는 『레티큘 자체의 손상으로 인한 피해는 수천달러에 지나지 않지만, 손상된 포토마스크를 잘못 사용할 경우 위험이 더 커질 수 있다』며 『손상된 포토마스크를 사용해서 입는 손실규모가 반도체업체마다 적어도 5000만달러는 될 것』이라고 주장했다.

함종렬기자 jyham@etnews.co.kr