실리콘테크, 첨단 반도체 장비 3종 출시

　반도체 장비업체인 실리콘테크(대표 김민홍)가 트랙 시스템용 컨트롤 장치와 핸들러 일체형 메모리 모듈 검사장비, 그리고 포토마스크용 PEB(Post Exposure Baker) 시스템 등 3종의 장비를 일제히 개발, 출시했다.

　이 회사가 개발한 트랙용 컨트롤러는 반도체 감광재료인 포토레지스트를 웨이퍼에 도포한 후 이를 다시 현상하는 코터&디벨로퍼(Coater&Developer) 장비용 핵심 모듈로 모니터를 통한 공정감시와 오류 자동 분석·방지 기능을 제공한다.

　특히 이 제품은 기존의 구형 트랙 장비에도 부착, 사용할 수 있도록 설계해 장비 업그레이드는 물론 특수 공정용 트랙 장비의 개발에도 적용 가능하다.

　실리콘테크가 국내 최초로 개발한 메모리 모듈용 검사장비는 핸들러와 테스터 기능을 동시에 보유한 일체형 장비로 완성한 메모리 모듈을 실제 보드 상태에서 검사할 수 있도록 하는 새로운 개념의 반도체 검사장비다.

　특히 이 제품은 실제 반도체 사용 환경에서 모듈 검사를 수행함으로써 불량 발생률을 획기적으로 낮출수 있으며 기존에 수작업이던 검사공정을 완전 자동화함으로써 생산성 향상과 전체적인 검사비용의 절감을 실현했다. 이에 따라 실리콘테크는 국내 한 소자업체에 이 장비를 납품, 최종 성능 테스트를 완료한 데 이어 공작기계업체인 터보테크가 설립한 반도체 장비 전문 자회사인 넥스트인스트루먼트(대표 장흥순)를 통한 본격적인 장비 양산을 추진중이다.

　또한 반도체 노광공정용 핵심 재료인 포토마스크 제조용 PEB 시스템도 국내 최초로 개발, 동급 외산 제품의 절반 가격으로 공급하는 등 본격적인 국내시장 공략에 나섰다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>