VLSI리서치, 반도체장비 분야 "BEST 10" 선정

　미국 VLSI리서치사가 세계 주요 반도체장비 업체에 대한 고객만족도 설문조사를 통해 선정, 발표한 반도체장비 분야 「99년 10 BEST」에서 전공정장비 부문은 베리안사가, 테스트 및 핸들링장치 부문에서는 칼수스 그리고 공정진단장비 부문은 HP가 각각 1위를 차지한 것으로 나타났다.

　또한 조립 및 특수장비 분야에서는 알파셈AG가 최우수업체로 선정됐으며 대형 전공정장비 업체들과는 별도로 중소 전공정장비 업체(연매출 3억달러 이하)를 대상으로 한 고객만족도 조사에서는 울트라텍이 1위에 랭크됐다. 이러한 업체별 순위는 미국·유럽·일본·한국 등 세계 각국 반도체업계 관계자 3만7000명을 대상으로 부문별 프로세스 지원, 소프트웨어 지원, 판매후 서비스 등 8개 항목에 대한 장비사용 만족도를 설문조사한 결과 나타났다고 VLSI리서치측은 설명했다.

　이를 분야별로 살펴보면 전공정장비 부문에서는 지난해 1위를 차지했던 베리안이 10점 만점에 8.92를 얻어 올해도 1위 자리를 고수했으며, 그 뒤를 이어 ASML·이튼·니콘·노벨러스·고쿠사이·어플라이드머티리얼스·캐논·TEL 램리서치 등이 10위권에 들었다.

　테스트 및 핸들링장비 부문에서는 칼수스사가 8.89로 1위를 차지했고 인티그레이티드 메저먼트 시스템·도쿄세미추·TMT·일렉트로글라스·TEL·SZ테스트 시스템·어드밴테스트·슐럼버제·테라다인 등이 10대 업체로 선정됐다.

　공정진단장비 부문은 HP가 7.99의 점수로 지난해에 이어 또 다시 1위에 올랐고 히타치·제올·루돌프 테크놀로지·케슬리 인스트루먼트·KLA­텐코·서머웨이브 등 7개 업체만이 우수업체로 선정됐다.

　조립 및 특수장비 부문에서는 알파셈사가 9.17점으로 5년 연속 1위 자리를 고수했으며 오소다인·유니버설 인스트루먼트·ICOS 비전·디스코·ESEC·데이터콘·신카와·이즈메카·쿨리케&소파 등이 순위에 올랐다.

　이와 함께 발표된 연간 매출 3억달러 이하의 중소 전공정 장비업체 순위조사에서는 울트라텍 스테퍼가 1위 자리를 차지했으며 아이트론·와킨존슨·티갈·슈테아그·칼수스·지너스·울박·FSI·CFM 테크놀로지 등이 10위권에 들었다.

　특히 각 분야 10대업체 가운데 알파셈은 조립·특수장비 부문에서 5년 연속 고객만족도 1위에 랭크되는 신기록을 수립, 특별상을 수상했으며 테라다인도 11년 연속 10대 업체에 선정되는 영예를 안았다.

　또한 라이카 마이크로시스템은 작년보다 무려 점수가 1.05포인트 오른 8.32점을 얻어 올해 가장 빠른 만족도 신장업체로 선정됐으며 유니버설 인스트루먼트·ICOS 비전·이즈메카 등 3개 업체는 올해 처음으로 우수 10대 업체에 포함됐다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>