한국쎄미툴, 구리칩 장비 영업 강화

　반도체 장비업체인 한국쎄미툴(대표 최형남)이 최근 각광받고 있는 구리칩 제조장비 부문 국내영업을 대폭 강화한다.

　이 회사는 미국 세미툴 본사가 최근 개발한 새로운 개념의 구리 도금장비인 「LT­210c」와 구리 공정용 일괄 웨이퍼 세정장비인 「스펙트럼(Spectrum)」을 본격적으로 국내에 공급하기 시작했다고 7일 밝혔다.

　한국쎄미툴은 또한 구리칩 제조과정에서 화학·기계적연마(CMP) 공정후 웨이퍼 세정에 사용되는 스펙트럼 장비는 조만간 국내 주요 반도체 업체에 구리 공정용으로 실제 공급될 예정이라고 덧붙였다.

　차세대 웨이퍼 세정장비인 스펙트럼은 자동 기판이송기능과 단일 배스 구조를 채택, 전체 장비 크기가 기존 제품의 3분의 1 수준에 불과한 구리칩 양산용 일괄 처리 장비로 52장의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있다.

　이와 함께 출시된 양산용 구리도금장비 LT­210c는 구리칩 제조공정에서 구리 배선(Interconnect)용으로 사용되는 장비로 웨이퍼의 자동 로딩 및 언로딩이 가능하고 고 균일성, 저 저항률(Low Resistivity), 고 전자이동저항(High Electromigration Resistance) 등의 장점을 지녔다.

　또한 자체개발한 세정용 체임버를 장착, 도금막에 전혀 손상을 주지 않고도 웨이퍼 후면과 가장자리의 구리 물질을 완벽히 제거할 수 있으며 시간당 70장 이상의 웨이퍼를 처리할 수 있다.

　한국쎄미툴은 또한 10개의 체임버로 구성된 단일기판(매엽식) 세정장치인 「Millennium」과 회전 웨이퍼 건조기(Spin Dryer) 「SRD」 장비도 함께 출시했다.

　최형남 사장은 『이번에 세미툴이 출시한 웨이퍼 세정장비는 구리칩 제조공정에 확대 채용될 수 있도록 CMP후 2차 세정공정까지 수행하는 새로운 개념의 설비며 세미툴만이 제공가능한 특화된 기술』이라고 강조했다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>