아펙스, 트랙 장비 국내 생산

　반도체 장비업체인 아펙스(대표 감상호)가 독일의 페어차일드 테크놀로지사와 기술제휴를 맺고 반도체 노광 공정용 핵심설비인 트랙 장비의 본격적인 국내 생산에 나선다.

　아펙스는 최근 세계적인 항공기부품 및 반도체 전문업체인 페어차일드 그룹과 포괄적 반도체 장비 생산 및 자본제휴 관계를 맺고 이 그룹으로부터 총 510만달러의 자금을 투자받은 데 이어 이번에는 페어차일드 테크놀로지사가 그동안 자체 생산해온 트랙 장비의 개발 및 국내 생산도 본격 추진하게 됐다고 4일 밝혔다.

　트랙 장비는 반도체 감광재료인 포토레지스트를 웨이퍼에 도포한 후 이를 다시 현상해 주는 일종의 코터(Coater)&디벨로퍼(Developer) 설비로 대당 제품가격이 20억원을 호가하고 국내 시장규모만도 2억달러 수준에 달하는 전공정용 고부가가치 제품이다.

　특히 아펙스가 국내에서 생산할 트랙 장비는 기존 제품보다 균일도 및 웨이퍼 처리능력이 훨씬 우수하고 가격도 30% 이상 저렴해 향후 국내는 물론 대만 시장에까지 확대 공급될 수 있을 것으로 회사측은 보고 있다.

　페어차일드와 함께 국내 트랙 장비 시장에 신규진출한 아펙스는 그동안 유기금속화학증착(MOCVD) 장비를 주력 개발해온 전공정 장비 전문 벤처기업으로 지난해 총 62억원 가량의 매출을 올린 코스닥 등록업체다.

　한편 미국의 페어차일드 그룹은 이번 아펙스와의 기술 및 자본제휴 계약체결을 통해 이 회사 전체 지분의 18.4%를 획득함으로써 김상호 사장과 함께 공동 최대주주가 됐다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>