한택, ArF 광원 노광설비 공급

　네덜란드 ASM리소그래피社의 국내 대리점인 한택(대표 한종훈)은 1기가급 이상 초고집적 메모리 생산에까지 대응할 수 있는 차세대 스텝 & 스캔(Step & Scan)시스템 「PAS 5500/900」을 국내에 공급한다고 23일 밝혔다.

　이번에 출시된 장비는 1백93나노미터의 파장을 갖는 아르곤 플로라이드(ArF) 레이저 소스를 광원으로 한 차세대 노광 설비로 0.13미크론 이하의 초미세 반도체 회로 형성까지 적용할 수 있다. 또한 이 시스템은 이미지 전체를 한꺼번에 노광시키는 기존 스테퍼와 달리 ArF 광원을 초당 2백50㎜의 속도로 레티클과 함께 움직이며 투사해 26×33㎜의 넓은 이미지 필드를 형성할 수 있으며 시간당 46장의 웨이퍼를 처리할 수 있다.

　한택은 이번 장비 공급을 계기로 이 분야의 영업을 대폭 강화해 나갈 방침이다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>