반도체장비업계, LCD용 검사장비 출시 본격화

　완성된 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD)의 최종 성능 테스트에 사용되는 각종 영상 검사 장비의 개발 및 출시가 본격화되고 있다.

　7일 관련업계에 따르면 미래산업·한택·평창하이테크산업·엠에스셀텍 등 국내 반도체 장비업체들은 최근 사업 다각화의 일환으로 LCD 장비 분야에 적극 진출하며 LCD용 표면 결함 검사기 및 모듈 테스터와 같은 각종 LCD 검사 관련 장비들을 일제히 선보이고 있다.

　테스트 핸들러 생산업체인 미래산업(대표 정문술)은 LCD 테스트 장비와 핸들링 머신이 일체화된 새로운 구조의 LCD패널 자동영상 검사 장비인 「MC-1510」을 개발, 최근 본격적인 국내외 시장 개척에 나섰다. 이 회사가 20억원의 개발비를 들여 만든 이 장비는 LCD패널을 자동으로 이송시켜 장비 내부에 설치된 고체촬상소자(CCD) 카메라를 통해 표면결함과 불량 유무를 자동으로 판별해내는 최첨단 LCD용 검사 장비다.

　반도체용 프로브 카드 전문 생산업체인 평창하이테크산업(대표 이억기)도 최대 24인치 LCD 제품에까지 적용할 수 있는 영상 검사용 자동 프로브시스템인 「PSL-2400」을 개발, 이의 본격적인 양산을 추진중이다. 이 회사가 개발한 장비는 LCD 패널 소스 및 게이트 전극에 프로브 탐침을 접촉시키고 전기 신호를 흘려 보냄으로써 LCD 패널의 적·녹·청색 표출 여부와 해상도 및 휘도 등을 검사하는 전자동 비주얼시스템이다.

　웨이퍼 소터업체인 한택(대표 한종훈)도 카메라 및 기판 반송 로봇을 이용, LCD 패널상의 각종 결함(이물·돌기·핀홀·스크래치·패턴이상 등)을 검출해내는 LCD용 표면결함검사기를 개발하고 본격적인 장비 공급을 추진중이다.

　이와 함께 LCD의 최종 점등 검사에 사용되는 모듈 테스터 분야에서는 엠에스셀텍(대표 이창희)이 최대 21인치 UXGA(1천6백×1천2백화소)급 LCD에까지 적용할 수 있는 모듈 테스터를 국내업계 최초로 개발한 데 이어 최근 디아이(대표 박원호)도 이와 유사한 장비를 개발, 본격적인 공급에 나섰다. 이 두 회사가 개발한 LCD 모듈 테스터는 고성능 패턴발생기(Pattern Signal Generator)를 통해 최종 완성된 LCD 모듈에 각종 검사 패턴을 공급, 영상 상태를 점검하고 그 불량 여부를 판별하는 장비다.

　장비업계 한 관계자는 『현재 국내업체들이 사용하고 있는 LCD 검사장비는 거의 대부분 일본에서 수입된 제품이며 따라서 향후 국내 LCD 관련 설비 투자가 재개될 경우 연간 1백억∼1백50억원 규모로 추정되는 검사 장비 분야 설비 투자액 중 상당수가 최근 개발된 국산 장비로 대체될 가능성이 높다』고 말했다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>