캐논, 축소 투영형 스테퍼 세계 최초 개발

　일본 캐논이 3백㎜ 웨이퍼와 0.13미크론 미세배선에 대응하는 축소투영형 스테퍼를 세계 최초로 개발, 내년 3월부터 출하에 나선다고 「일경산업신문」이 보도했다.

　이 제품(모델명 FPA5000 AS1)은 파장이 1백93㎚인 불화아르곤 엑시머레이저를 광원으로 사용하며 노광면적은 2백60×33㎜, 렌즈의 밝기를 나타내는 개구(開口)수는 0.6NA(Numerical Aperture)로 대화면과 고해상도를 동시에 실현했다.

<심규호기자 khsim@etnews.co.kr>