눈길끈 "98 반도체장비.재료 품평회"

　국산 반도체장비에 대한 인식 제고 및 제품 홍보를 위한 「98 반도체장비 및 재료 품평회」가 19일 천안에 있는 한국기술교육대학 체육관에서 개최됐다.

　반도체업계 및 학계와 정부 관계자들이 대거 참석한 가운데 열린 이번 행사는 주성엔지니어링·청송시스템·탑엔지니어링·제일화학 등 총 13개 국내 중소업체들이 지난 1, 2년간 순수 자체기술로 개발한 각종 반도체 장비 및 재료를 선보여 눈길을 끌었다.

　세정 및 트랙장비 전문 생산업체인 한국DNS는 국내 업계 최초로 개발한 3백㎜ 웨이퍼용 웨트스테이션 장비인 「K-WET 300」 모델을 출품했는데 이 장비는 시간당 최대 1백70장의 웨이퍼를 처리할 수 있는 초고속 제품이다.

　반도체용 가스 스크러버 생산업체인 한국엠에이티는 연소(Burning) 및 습식(Wet) 방식을 결합한 「MAT501」 모델과 연소 및 흡착 방식의 「MAT505BA」 모델을 전시했으며, 반도체용 온도조절기(Chiller) 생산업체인 스피드엔지니어링은 대형 LCD 패널을 채용한 새로운 칠러 장비를 선보였다.

　특히 전공정 장비업체인 주성엔지니어링은 이미 출시돼 세계시장에서 호평받고 있는 64MD램용 저압화학증착(LP CVD)장비와 함께 최근 개발한 플라즈마 방식 및 에피 웨이퍼용 성장 장치를 동시에 선보여 주목받았다.

　이와 함께 탑엔지니어링이 개발한 각종 다이본더 및 약품공급장치와 토소SMD가 국내 생산중인 알루미늄·구리·팔라듐 등의 각종 타깃 제품도 출품됐다.

　이번 행사에 참가한 장비업체 한 관계자는 『특정 소자업체와 협력관계가 있는 경우 좋은 제품을 다른 소자업체에 소개할 수 있는 기회가 사실상 거의 없는데 이런 자리는 많은 수요업체 관계자들에게 한꺼번에 제품을 설명할 수 있는 좋은 기회』라며 『앞으로도 소자업체와 장비업체가 한자리에서 만나 서로 관련 정보를 교류할 수 있는 이런 행사가 더욱 활성화돼야 한다』고 강조했다.

　한편 이번 행사와 함께 열린 반도체장비기술교육센터(SETEC) 주최의 「반도체 공정 및 장비 기술 세미나」에는 3백명 이상의 반도체 엔지니어들이 한꺼번에 몰리는 등 대성황을 이뤘다.

<주상돈 기자>