한양트레이딩, 초순수 가열장치 개발

　반도체 장비업체인 한양트레이딩(대표 김규환)이 웨이퍼 세척 공정에 사용되는 초순수를 일정 온도 이상으로 가열해 공급해주는 초순수 가열장치 「PWH」 시리즈를 개발, 이달부터 본격 양산한다.

　이 회사가 일본 고마쓰사와 기술 제휴해 개발한 이 장비는 웨이퍼 세정시스템인 웨트스테이션 장비에 부착돼 상온 상태인 초순수를 고출력 할로겐 램프를 이용, 설정된 온도 수준까지 가열해 공급하는 일종의 유틸리티설비다.

　초순수는 반도체 제조공정에서 디바이스의 오염 제거에 사용키 위해 각종 불순물을 극한 수준까지 감소 또는 제거시킨 물로 세척 효율을 높이기 위해서는 일정 온도 이상의 가열이 요구된다.

　한양이 이번에 개발한 「PWH」 시리즈는 부착된 가열 용기의 숫자와 처리 가능한 초순수의 용량에 따라 6ℓ에서 최대 36ℓ 용량까지 총 5개 모델로 나뉘며 상온 상태의 초순수를 최고 85℃까지 가열할 수 있다.

　또한 이 장비는 석영 소재의 가열용기를 채택하고 각종 배관 및 기기류의 접착 부위도 불소 수지로 제작함으로써 금속이온이나 박테리아, 그리고 TOC(Total Organic Carbon) 등과 같은 각종 불순물 발생으로 인한 초순수의 오염을 사전에 방지했다.

　특히 자체 개발한 장비 컨트롤시스템을 장착, 사용자가 제품 외부의 액정 화면을 통해 가열온도 및 유량상태 등 각종 장비 작동 상황을 한글 및 영문으로 조작 또는 감시할 수 있도록 했다.

　이 회사 최종은 이사는 『이번에 개발된 초순수 가열장치는 반도체 소자 및 장비 제조는 물론 LCD 유리 기판의 세정 공정에까지 사용 가능하다』고 말했다.

　그는 또한 한양트레이딩은 각각의 용도에 맞는 다양한 모델의 제품을 생산, 국내 및 해외에 본격 공급할 계획이라고 덧붙였다.

〈주상돈 기자〉