[화요특집-반도체.부품장비] 차세대 반도체장비.. 한택/SMIF 시스템용 소터

　반도체 장비업체인 한택(대표 한종훈)이 개발한 「HAS200M/4」는 차세대 국부 클린룸 설비인 SMIF(Standard Mechanical Interface)시스템용 웨이퍼 자동이송장치(Sorter)다.

　웨이퍼 자동이송장치는 반도체 제조의 웨이퍼 가공 공정(FAB)중 웨이퍼의 손상을 최소화하기 위해 이를 특정 카세트에서 임의의 카세트로 자동 이송, 정렬시켜 주는 일종의 핸들링 머신이다.

　그리고 SMIF 시스템은 전체 클린룸 설비 가운데 노광 및 에칭 등 초청정 환경이 요구되는 일부 공간만을 클래스1 이하의 초청정 상태로 유지함으로써 전체 클린룸 설비의 사용효율을 극대화시키는 차세대 클린룸 설비다.

　이런 가운데 한택이 개발한 SMIF 시스템용 자동 이송장치는 웨이퍼를 담는 용기인 밀폐형 퍼드(Pod)및 초소형 클린룸 장치(Mini Environment)등과 함께 전체 SMIF시스템을 이루는 핵심 요소로 최근 그 채용이 크게 확대되고 있는 첨단 장비다.

　특히 이 제품은 웨이퍼 핸들링 영역의 청정도를 클래스1 수준으로 유지토록하고 작업자의 편의를 위해 대형 LCD 모니터및 투명창을 채택했으며 스칼라 로봇을 비롯한 각종 로봇 시스템과도 호환 가능하다.