반도체 공정 자동화시스템 출시 잇따라

전체 반도체 생산라인을 완전 자동화하는 각종 로봇시스템및 소프트웨어 제품의 출시가 잇따르고 있다.

18일 관련 업계에 따르면 3백㎜ 웨이퍼 공정과 국부클린룸(SMIF)시스템 및 장비 인라인(In-Line)화 작업등 전체 반도체 공정의 자동화가 요구되는 각종 첨단 기술들의 도입으로 MES(Manufacturing Execution System) 및 CIM(Computer Integrated Maufacturing)등과 같은 공정 자동화 관련 기술이 반도체 장비 분야의 최고 핵심 제품 영역으로 급부상하면서 관련제품들이 쏟아지고 있다. 특히 세계반도체장비및재료협회(SEMI)와 미국의 주요 반도체 업체들이 반도체 공정 자동화 관련 각종 하드웨어 및 소프트웨어의 표준화를 추진하기 위한 기술 컨소시엄을 형성하는 등 적극적인 자세를 보이고 있어 향후 공정 자동화 기술은 반도체 소자 및 장비 시장에 상당한 파장을 몰고 올 것으로 예상된다.

이에 따라 IBM 등의 소자 업체와 PRI오토메이션, 콘실리엄, 프로미스시스템, 어시스트 등 세계 주요 자동화 관련 전문 업체들은 전체 반도체 제조 라인을 통합 운영할 수 있는 새로운 로봇 장치 및 소프트웨어를 개발하고 이 시장에 대한 본격적인 공략에 나섰다.

IBM은 객체지향형 프로그램 기법(OOP)을 도입한 반도체 공정 자동화 소프트웨어인 「포세이돈」을 최근에 출시했으며 PRI오토메이션과 콘실리엄도 3백㎜ 반도체 라인용 컨트롤 시스템과 로봇장치를 개발,선보였다.

또한 국부클린룸(SMIF)설비 전문 업체인 어시스트는 차세대 SMIF시스템 기법을 도입한 전체 반도체 공정용 자동화 솔루션을 최근 발표했으며 세계 최대 로봇 장치 생산 업체인 브룩스오토메이션도 3백㎜ 웨이퍼 핸들링용 진공 로봇 장치를 출시했다.

이런 가운데 한연테크, 세종정보통신, 코닉시스템 등 국내 주요 반도체 제어시스템 개발 업체들도 장비 컨트롤러 및 공정자동화시스템을 잇따라 개발,출시하고 있다.

한연테크는 각종 장비의 이력관리 및 성능분석을 수행하는 EMS(Eqipment Mainagement System) 기능과 사전예방의 PM(Preventive Maintenance) 기능을 보유한 반도체 및 LCD 라인용 공정자동화시스템인 「드림스(DREAMS)」를 개발, 국내는 물론 동남아 지역에 공급하고 있다.

또한 세종정보통신은 첨단 분산제어 기능을 구현한 반도체 장비용 CTC(Cluster Tool Controller)시스템을 개발,최종 테스트 과정에 있으며 코닉시스템도 각종 제어시스템과 SEMI표준의 통신 프로토콜 소프트웨어 및 실시간 멀티태스킹 공정제어기술의 개발을 현재 추진중이다.

장비 업계 한 관계자는 『향후 3백㎜ 웨이퍼 및 SMIF 시스템의 본격적인 도입으로 반도체 공정이 완전 자동화될 경우 전체 생산라인을 움직이는 공정제어기술이 장비 제조는 물론 반도체 소자 생산의 전체 경쟁력을 좌우할 핵심 기술로 부상하게 될 것』으로 전망했다.

<주상돈 기자>