[특집-SEMICON WEST 98] 주요업체 출품작.. DUV용 트랙장비

SVG "DUV용 트랙장비"

미국 반도체 장비업체인 SVG는 자체 개발한 DUV용 트랙 장비인 「200-APS」 모델을 이번 행사에 출품했다.

이 회사의 「200-APS」 트랙 장비는 0.18 미크론 이하의 초고집적 반도체 제조에 사용 가능한 DUV용 포토레지스트 도포 및 현상 장비로 반도체 리소그래피 공정 분야 최첨단 설비이다.

특히 이 장비는 포토레지스트의 소모량이 2백㎜ 웨이퍼당 2㎖ 이하로 기존 제품과 비교해 유지 비용이 50% 수준에 불과하며 새로운 플랫폼의 채택으로 장비 설치 공간을 획기적으로 줄였다.

또한 균일성과 생산성 면에서 이 장비는 첨단 온도 및 습도 조절 기능과 공기역학적 디자인으로 균일성이 예전보다 크게 향상됐으며 생산성은 새로운 로봇시스템을 채택, 시간당 1백20장의 웨이퍼 처리능력을 갖는다.

200-APS는 또한 자체 개발한 운영 소프트웨어를 탑재, 장비 사용이 간편하고 현재 SVG가 시판 중인 DUV용 노광 설비인 「Micracan」 장비와도 연결 가능하다.