반도체 장비 업그레이드사업 활기

노후된 반도체 장비의 성능을 향상시켜 신규 반도체 생산라인에 재사용할 수 있도록 하는 장비 업그레이드 사업이 활기를 띠고 있다.

18일 관련업계에 따르면 과거 극히 일부 영역에만 한정되던 장비 업그레이드 품목이 최근에는 스테퍼, 트랙, 웨트스테이션 등과 같은 핵심 전공정 장비 분야로까지 크게 확대되는 등 반도체 장비의 업그레이드가 국내 장비 업체들의 새로운 사업 영역으로 급부상하고 있다.

이는 최근 반도체 경기의 악화로 극심한 자금난을 겪고 있는 국내 소자 생산업체들이 가격 경쟁력 확보 및 설비 투자비 절감 차원에서 생산라인 변경시 신규 장비의 추가 도입보다는 기존 장비를 업그레이드할 수 있는 방향을 적극 모색하고 있는데 따른 결과로 풀이된다.

특히 이같은 장비 업그레이드 사업은 기존 외산 장비에 들어 있는 각종 소모 부품을 국산 제품으로 대체함으로써 밸로우, 벌브, 초음파 세정기, 케미컬공급시스템, WEE(Wafer Edge Exposure)시스템 등과 같은 국산 장비 부품의 새로운 수요처가 되고 있어 더욱 주목된다.

반도체 공정에서 포토레지스트를 도포하고 현상하는 트랙 장비 분야의 경우 최근 이 장비에 들어가는 각종 핵심 모듈을 개발한 국내 S사가 소자업체를 대상으로 적극적인 업그레이드 사업을 펼친 결과, 수백억원어치에 달하는 외산 장비 도입 비용을 장비 개조를 통해 절반 이하 수준으로까지 절감한 것으로 알려졌다.

웨이퍼 세척에 사용되는 웨트스테이션 장비 분야에서는 이미 2∼3년전부터 태양테크, 대창하이테크, 우신쎄미텍, 선일테프론 등과 같은 반도체 장비 부품 및 불소수지 전문업체들이 적극적인 업그레이드 사업을 펼치고 있다. 특히 웨트스테이션 장비는 제품 특성상 각종 케미컬 및 유독가스로 인한 소모 부품의 침식 및 부식 가능성이 크고 웨이퍼 크기 혹은 세척 횟수에 따라 장비를 새로 재구성하는 사례가 많아 장비 업그레이드 사업중 가장 각광받는 영역으로 인식되고 있다.

반도체 노광 장치인 스테퍼 분야 또한 세계 최대 스테퍼 공급 업체인 니콘이 기존 공급된 0.5미크론급 스테퍼에 미세화지원기능 시스템을 추가해 0.35미크론 이하 노광에까지 대응할 수 있도록 하는 등 장비 업그레이드 사업을 대폭 강화하고 있다.

이밖에 몇몇 국내 테스트 핸들러 생산 업체들이 기존의 개별 소자 및 수직식 핸들러 제품을 개조해 중국을 비롯한 동남아 지역에 공급키로 하는 등 반도체 장비의 개조 사업은 수출 시장으로까지 확대될 전망이다.

장비 업계 한 관계자는 『반도체 장비 업그레이드 사업은 몇 십억원을 호가하는 외산 장비를 국내 기술로 개조해 다시 사용할 수 있도록 함으로써 설비 투자비 절감은 물론 실질적인 수입대체 효과까지 거둘 수 있다』고 강조하며 『반도체 경기의 불황이 계속될 경우 이러한 반도체 장비의 개조에 대한 국내 소자 업체들의 수요는 더욱 증가할 것』으로 내다봤다.

<주상돈 기자>