삼성전자, 초정밀 로봇 응용시스템 국산화

삼성전자(대표 윤종용)는 하드 디스크 드라이브(HDD)의 MR헤드를 제조할 수 있는 초정밀 로봇 응용시스템을 국산화했다고 12일 발표했다.

이 회사가 이번에 개발한 초정밀 로봇 응용시스템은 HDD MR 헤드의 막대형태 원재료를 로봇이 흡착, 수정평판(Quartz) 위에 정확히 정열, 장착시킨 다음 후공정인 스테퍼(노광장치) 공정으로 이송할 수 있게 설계한 것이다.

특히 이 시스템은 원재료와 수정평판을 동시에 이송할 수 있는 듀얼 암(Dual Arm) 타입의 소형 반송로봇을 이용, 작업 효율을 높였으며 선형모터와 고해상도 영상처리장치 및 정밀 직교로봇을 채용함으로써 초정밀 위치제어가 가능한 것이 특징이다.

실제 이 시스템의 원재료 장착 정밀도는 15미크론으로 외산 장비(30미크론)보다 뛰어나고 고청정 작업환경 및 1평방피트내 0.1미크론 크기의 먼지입자가 10개 미만인 클라스 10급에서 사용할 수 있다고 이 회사측은 설명했다.

이 회사는 이 시스템을 수 미크론 이내의 정밀 위치제어를 요하는 초정밀 조립 가공분야와 반도체, LCD, 광통신, HDD 라인의 공정 자동화 등에 적용, 연 1백억원 이상의 수입 대체효과가 있을 것으로 기대하고 있다.

삼성전자는 국내 특허 3건을 출원한 이 시스템 개발로 정밀 메커니즘 설계기술, 정밀 위치제어기술, 프레임 저진동 설계기술 등을 확보할 수 있게 됐으며 올 하반기 장착 정밀도가 4미크론까지 가능한 시스템을 추가 개발할 계획이라고 덧붙였다.

<박효상 기자>