[세미콘코리아98 특집] 출품작.. 다산C&I 「2000M」

반도체용 칠러(Chiller) 전문 생산 업체인 다산C&I(대표 오희범)는 열전소자를 이용, 프레온 가스 등 냉매를 사용하지 않는 초소형 칠러와 항온항습장치(THC:Temperature Humidity Controller)를 이번 행사에 출품한다.

냉각수 순환을 통해 섭씨 10도에서 70도 사이의 온도를 제어할 수 있는 칠러는 반도체 제조과정의 노광 및 애칭공정 중 과도한 열이 발생하는 전극판을 일정 온도로 유지시킴으로써 고온으로 인한 웨이퍼 파손 및 에러 발생을 방지해 주는 온도조절장치이며 항온항습장치는 각종 반도체 공정 장비에 부착돼 일정한 온도와 습도를 유지하는 주변 설비이다.

특히 다산이 개발한 이 장비들은 프레온 가스를 사용하던 기존 제품들과는 달리 고체상태의 열전소자(Thermo electric heating & colling Module)를 이용한 무냉매 방식을 채택함으로써 제품 크기의 축소는 물론 환경문제도 해결했다.

이 가운데 항온합습장치는 별도의 탱크 및 펌프 시설이 필요없는 직접 냉각 방식을 채택함으로써 영하 10도에서 30도 까지의 최대 냉각 및 가열 기능과 함께 70%까지의 가습 능력을 지니고 있다.