[세미콘재팬 97] 주요업체 출품작.. 가이조

일본 가이조는 최신형 웨이퍼 세척 장비와 완전 자동 와이어 본더 등을 포함해 다양한 제품들을 전시했다.

이중 가장 눈길을 끈 장비는 3백화를 겨냥한 웨이퍼 세척 장비인 「스쿠너 시리즈」. 이 제품은 독자 세척 방식을 채용한 초소형 웨트스테이션으로 세척 효율 향상과 경제성을 고려해 공정 시간을 20분 수준으로 줄였고 장비 크기도 3백50bps천9백kbps천4백 사이즈인 초소형 장치다.

가이조는 또 자사의 대표적 제품인 종형 LED용 완전 자동 와이어 본더 「FB-131시리즈」도 출품했다. 이 시리즈는 용도에 따라 다중 매거진 체인저 사양과 2중 매거진 체이저 사양 등 2가지로 나뉘는데, 두 제품 모두 DC서보 모터를 채용하고 있어 반송 속도가 매우 빠른 것이 특징이다.

이밖에 칩사이즈패키지(CSP)와 볼그리드어레이(BGA) 패키지에 대응하는 외관 검사장치 「CS-5700DB」와 클린룸용 초음파 풍속계측기인 「WA-590」도 내놓았다.