[세미콘재팬 97] 주요업체 출품작.. 도쿄일렉트론

도쿄일렉트론이 출품한 8인치 웨이퍼용 도포 및 현상장비인 「CLEAN TRACK ACT-8」은 반도체 제조공정의 사진제판 과정중 웨이퍼에 감광수지(Photo Resist)를 도포한 후 현상하고 이를 다시 건조시키는 코터 앤 디벨로퍼(Coater & Developer)장비다.

이 제품은 스피너(Spinner)를 2단으로 쌓을 수 있도록 설계돼 작업실 면적을 30% 이상 축소 가능하며 새로운 감광수지 도포 방식을 도입, 재료 소비량도 종래의 3분의1 수준으로 절감할 수 있다. 또한 빠른 웨이퍼 반송으로 시간당 최대 1백20장의 웨이퍼를 처리할 수 있으며 웨이퍼 현상 과정에서 생기는 잔존 가스를 완전히 제거함으로써 현상 결함을 최소화했다. 특히 최근 도입이 본격화되고 있는 DUV용 공정에도 대응 가능하다.

도쿄일렉트론은 8인치 웨이퍼용인 이 제품 외에도 12인치 웨이퍼에 적용할 수 있는 「CLEAN TRACK ACT-12」 모델도 곧 선보일 방침이다.