[니콘 스테퍼 결함 파문 확산]

일본에서 발생한 니콘 스테퍼 결함 파문(본지 11월 12일자 15면 참조)이 국내 반도체업계에까지 큰 충격으로 다가오고 있다.

최근 「기술적 결함」 의혹이 제기된 장비는 니콘이 지난해 이후 출하하기 시작한 2백56MD램용 엑시머 레이저 스캐너 장비인 「S-201」 모델.

이 장비를 국내 도입한 업체는 삼성과 현대전자다.

삼성측은 최근 자사 경제연구소가 발간하는 한 정보지를 통해 니콘 스테퍼 결함 파문을 비중있게 다루며 이로 인해 차세대 D램 생산에도 차질을 빚을 수 있을 것이라는 우려를 제기했다.

또한 이 회사는 장비 결함 파문이 일기 시작한 지난 5월부터 니콘측과 공동 조사에 착수하는 등 나름대로 대응방안을 모색해온 것으로 알려졌다.

이에 반해 현대측은 아직까지 별다른 반응이 없는 상태다.

하지만 이 회사가 최근 발주한 스테퍼 물량중 상당량이 니콘 장비가 아닌 다른 경쟁사 제품으로 결정되는 등 스테퍼 구매에 상당한 변화가 일고 있는 모습이다.

이에 대해 니콘코리아측은 자사 장비의 결함이 새로운 장치를 도입할 때 자주 발생하는 단순한 문제일 뿐이며 이를 개선한 새로운 모델을 개발, 현재 출하를 준비하고 있어 문제가 될 것이 없다고 주장했다.

또한 삼성전자 등 국내업체에 공급된 장비는 양산용이 아닌 연구용 장비로 2백56MD램의 개발을 위해 앞서 공급된 제품이기 때문에 어느 정도의 문제 발생은 예상된 것이라고 니콘측은 해명했다.

그러나 이번 파문이 국내가 아닌 일본쪽에서 먼저 제기된 데다 니콘측도 이로 인해 장비 출하에 상당한 타격을 받은 것으로 알려져 이번 사태가 니콘측 주장처럼 이미 해결된 문제만은 아니라는 게 관련업계의 공통된 의견이다.

더욱이 니콘 장비 결함 파문이 국내외 언론에 보도되기 시작하자 해당업체의 주가 하락과 함께 ASML 등 경쟁사 제품 가격이 최대 2배까지 폭등하는 등 사태는 더욱 확산되고 있는 분위기다.

또한 이러한 장비 결함 문제가 굳이 니콘에만 국한된 게 아니라 현재 비슷한 장비를 공급하고 있는 ASML, SVG 등 다른업체들도 유사한 문제를 안고 있다는 주장까지 제기돼 장비 결함 파문은 스테퍼시장 전체로 확대되고 있는 추세다.

이에 따라 본격적인 64MD램 양산을 위해 해당 장비를 구매해야 하는 국내소자업체들로선 장비 결함 파문에 가격 폭등 사태까지 발생하자 상당히 곤혹스러워하는 모습이다.

반도체 제조공정에서 스테퍼가 차지하는 비중이 워낙 크고 이를 공급할 수 있는 업체도 한정돼 있어 이번 니콘 장비 결함 파문은 어떤 형태로든 국내 스테퍼시장 구도에 상당한 영향을 미칠 것으로 예상된다.

<주상돈 기자>