스퍼터링 타깃 국내 생산 확대

반도체 및 LCD 박막 증착에 사용되는 스퍼터링 타깃의 국내 생산이 내년부터 크게 늘어날 전망이다.

8일 관련업계에 따르면 존슨매티코리아, 한국MRC, 한국토소SMD, MK전자 등 기존 타깃 생산 업체들이 최근 대대적인 설비 증설에 나선 가운데 LG금속, 헤리우스 등 신규 참여 업체들도 내년 상반기부터 본격적인 제품 생산에 착수한다.

이에 따라 전체적인 타깃 생산량 증대와 함께 그동안 알루미늄 및 티타늄 타깃에 한정돼온 국내 생산 품목도 LCD 제조용인 ITO(Indium Tin Oxide) 타깃으로까지 크게 확산될 전망이다.

지난 94년부터 반도체용 타깃을 국내 생산해온 존슨매티코리아는 지난해 미국 라이볼트머티리얼(LMD)사와의 기술제휴로 ITO 타깃 시장에 진출, 충북 음성 인근에 관련 생산라인 구축하고 최근 본격적인 양산에 착수했다.

올해 이 시장에 본격 진출한 LG금속은 알루미늄 및 크롬 타깃과 ITO 제품 등 대부분의 타깃 품목을 개발, 완료하고 최근 이의 양산을 위한 최종 검토 작업 착수한 것으로 알려졌다.

본딩 와이어 생산업체인 MK전자도 사업 다각화 일환으로 그동안 주력해온 웨이퍼 산화 방지 용 타깃에 이어 ITO 제품을 내년부터 본격 생산키로하고 현재 별도 생산라인 건설중이다.

이와 함께 한국MRC가 천안3공단 1천5백평 부지에 타깃 전용공장을 현재 건설중이며 그동안 알루미늄 타깃을 주력 생산해온 한국토소SMD도 ITO 제품 생산을 위한 양산 라인을 구축중이다.

반도체 및 LCD 제조시 물리적 박막 증착에 사용되는 핵심 제료인 스퍼터링 타깃은 최근 각종 디스플레이 및 기록 매체의 제조에까지 그 사용 영역이 크게 확산되고 있어 내년 국내 시장 규모만도 1천억원을 훨씬 넘어설 것으로 예상되는 고성장 품목이다.

<주상돈 기자>