세종정보통신, 반도체 장비용 CTC 개발

에처, CVD 등 첨단 반도체장비에 들어가는 핵심 제어 모듈인 클러스터 툴 컨트롤러(CTC: Cluster Tool Controller)가 국내에서 개발, 상용화됐다.

반도체 장비용 컨트롤러 제조업체인 세종정보통신(대표 윤예석)은 최대 3개의 체임버를 동시에 운영할 수 있는 CTC 시스템을 개발, 국내 P업체가 생산하는 반도체 장비에 이를 탑재한데 이어 최근 H소자업체를 통한 최종 성능 시험까지 완료했다고 3일 밝혔다.

CTC 시스템은 반도체 장비에 내장돼 웨이퍼 이송 및 체임버 관련 각종 모듈을 서로 조합하고 작동시키는 일종의 운용 소프트웨어로 최근 이러한 모듈 연결 및 조합을 통한 「믹스 앤 매치(Mix & Match)」 방식 장비 개발이 주종을 이루면서 주목받기 시작했다.

특히 이번에 개발된 CTC 시스템은 기존 외산 제품들과 달리 상위 및 하위 모듈을 하나의 운용체계로 통합함으로써 완벽한 분산처리 환경을 구현했으며 유닉스 및 표준형 하드웨어를 결합한 개방형 구조를 채택하고 있다.

또한 기존 팔(PAL)언어 대신 세이지(Sage) 언어를 사용, 전체 CTC 시스템 통합과 프로세스 모듈의 추가에 따른 프로그램 업그레이드가 용이하다고 세종측은 설명했다.

이 회사는 이에 따라 국내 주요 전공정 장비업체와 소자 생산업체들을 대상으로 본격적인 CTC 시스템 영업에 착수하는 동시에 각종 보조 기능 및 빠른 반응속도를 구현할 새로운 제품 개발도 적극 추진할 방침이다. 윤예석 사장은 『이번에 개발된 CTC 시스템은 앞으로 멀티 체임버 및 12인치 웨이퍼용 장비를 개발할때 기계 성능을 좌우하며 양산 여부를 가름하는 핵심 기술이다. 특히 완전 개방형 CTC 시스템 개발은 세계적으로도 이번이 처음』이라고 강조했다.

<주상돈 기자>