수직형 확산爐 국내 생산 확대 전망

반도체 전공정용 핵심장비인 수직형 확산로(Vertical Diffusion Furnace)의 국내 생산이 내년부터 크게 확대될 전망이다. 25일 관련 업계에 따르면 지난 93년 일본 고쿠사이社가 보성상사와 합작으로 국내에 확산로 생산 공장을 건설한데 이어 올해들어 케이씨텍, 성심산업기계 등 업체들이 일본 확산로 전문 생산 업체인 고요린드버그, DSI社 등과 제휴, 이 장비의 본격적인 국내 생산을 추진한다.

이에 따라 연간 1천억원 정도로 추정되는 국내 확산로 시장에서 국내 생산 비중이 조만간 50% 이상으로까지 크게 상승할 것으로 기대되며 확산 공정 관련 부속 장비인 램프 가열 장치(Lamp Anneal) 및 RTP(Rapid Thermal Process) 설비의 국내 개발도 본격화될 전망이다.

가스 관련 장비 전문 생산업체인 케이씨텍은 최근 일본 고요린드버그社와 합작으로 수직형 확산로의 국내 생산을 추진키로하고 현재 안성 2공단내 대지 1천2백50평, 건평 4백60평 규모의 전용 공장을 건설중이다. 내년 상반기에 완공되는 이 공장을 통해 케이씨텍은 LGO히터를 채용, 온도 안정화 및 제어성이 뛰어난 「VF5300」 제품을 주력 생산할 계획이며 향후 멀티 체임버 제품 및 3백밀리 웨이퍼용 장비 개발에도 적극 나설 방침이다.

일반 기계 장비 전문 생산 업체인 성심산업기계는 최근 반도체 사업 진출의 일환으로 일본 DSI사와 합작, 자본금 3억원 규모의 「DSI코리아」를 설립하고 본격적인 국내 생산을 위한 전용 공장 건설을 추진한다.

6인치 웨이퍼용 소형 퍼니스를 개발한 서울일렉트론은 최근 시화공단내 아파형 공장에 이 장비의 양산 라인을 구축한데이어 오는 연말까지 8인치 웨이퍼용 퍼니스를 출시, 본격적인 국내 판매 및 수출에 나설 방침이다.

반도체 제조 과정중 산화막 형성에 주로 사용되는 확산로는 대당 가격이 5억원 이상인 고가 장비로 8인치 웨이퍼 반도체 라인 1개당 80대 이상이 소요되는 등 그 시장 규모가 작지않은데도 그동안 대부분의 물량이 도쿄일렉트론, 고쿠사이, 와킨존슨社 등으로부터 수입, 사용돼 왔다.

<주상돈 기자>