AMK, 레티클 검사 장비 출시

반도체장비 공급업체인 어플라이드 머티리얼즈 코리아(대표 이영일)는 회로선폭 0.25미크론까지 대응 가능한 레티클 검사장비 「RT-8000ES」를 본격 출시한다.

반도체 노광공정용 마스크 재료인 레티클의 회로패턴을 검사하는 이 장비는 새로운 이미지 획득기술 및 선폭 에러 검출(LWED) 알고리듬을 통해 레티클상의 초미세 결함까지 탐지 가능하며 고속 데이터 모듈의 채택으로 패턴 데이터의 변환시간을 최소화했다.

또한 이 장비는 결함 탐지감도의 극대화를 통해 광학 근접 수정(OPC) 및 상변이 포토 마스크(PSM) 제조기술이 적용된 각종 첨단 레티클 검사에까지 대응 가능하다.

레티클 검사는 반도체 회로패턴의 정밀도 및 정확성을 결정짓는 핵심기술로 최근 회로선폭의 미세화 추세와 함께 관련 장비의 수요도 큰 폭으로 증가하고 있는 추세다.

<주상돈 기자>